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図書

金属微細配線におけるマイグレーションのメカニズムと対策

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金属微細配線におけるマイグレーションのメカニズムと対策

Call No. (NDL)
ND386-H184
Bibliographic ID of National Diet Library
000008409719
Material type
図書
Author
新宮原正三 監修
Publisher
サイエンス&テクノロジー
Publication date
2006.12
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
206p ; 27cm
NDC
549.7
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Detailed bibliographic record

Contents:

LSI微細金属配線における信頼性問題の概説 / 新宮原正三 著金属薄膜における拡散現象 / 新宮原正三 著応力と塑性変形 / 新宮原正三 著...

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  • 愛知県図書館

    Paper
    Call No.:
    549.7-キン-966414
    Book Registration Number:
    1109664140
  • 岡山県立図書館

    Paper
    Call No.:
    549.7/シン09/
    Book Registration Number:
    0009284118
  • 徳島県立図書館

    Paper
    Call No.:
    549.7-サイ
    Book Registration Number:
    00110261902
  • 愛媛県立図書館

    Paper
    Call No.:
    549.7-シシ-2006
    Book Registration Number:
    5104579371

Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
ISBN
4-903413-15-2
Title Transcription
キンゾク ビサイ ハイセン ニ オケル マイグレーション ノ メカニズム ト タイサク
Author/Editor
新宮原正三 監修
Author Heading
新宮原, 正三, 1955- シングウバラ, ショウゾウ, 1955- ( 00942782 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2006.12
Publication Date (W3CDTF)
2006
Extent
206p