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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- イオン スパッタリング ゲンショウ オ リヨウシタ テッコウチュウ ビリョウ ガス セイブン ゲンソ ノ シン ブンセキ ギジュツ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 安原久雄 [著]
- Author Heading
- 安原, 久雄 ヤスハラ, ヒサオ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2005]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2005
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 東北大学