Spray coating of photoresist for lithography on three-dimensional microstructures

• Material Type: 博士論文
• Title: Spray coating of photoresist for lithography on three-dimensional microstructures
• Author/Editor: Vijay Kumar Singh [著]
• Author Heading: Singh, Vijay Kumar シング, ビジャエ クマール
• Publication, Distribution, etc.: [Vijay Kumar Singh]
• Publication Date: 2005
• Publication Date (W3CDTF): 2005
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 三次元マイクロ構造のリソグラフィ加工のためのフォトレジストスプレーコーティング サンジゲン マイクロ コウゾウ ノ リソグラフィ カコウ ノ タメ ノ フォトレジスト スプレー コーティング
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成17年9月14日
• Date Granted (W3CDTF): 2005
• Dissertation Number: 甲第10541号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2006-P224
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008417816; http://id.ndl.go.jp/bib/000008417816
• Bibliographic Record Category (NDL): 213