AFM方式による大面積3次元微細形状の高精度測定に関する研究

AFM方式による大面積3次元微細形状の高精度測定に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2006-P555
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008418639

Material type: 博士論文

Author: 青木純 [著]

Publisher: [青木純]

Publication date: [2006]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東北大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type: 博士論文
Title: AFM方式による大面積3次元微細形状の高精度測定に関する研究
Title Transcription: AFM ホウシキニヨルダイメンセキ 3ジゲンビサイケイジョウノコウセイドソクテイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 青木純 [著]
Author Heading: 青木, 純アオキ, ジュン
Publication, Distribution, etc.: [青木純]
Publication Date: [2006]
Publication Date (W3CDTF): 2006
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成18年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2006
Dissertation Number: 甲第10876号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-P555
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008418639
http://id.ndl.go.jp/bib/000008418639
Bibliographic Record Category (NDL): 213