Tight-Binding量子分子動力学法に基づくSiデバイスのボロン注入プロセスおよび電気伝導特性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: Tight-Binding量子分子動力学法に基づくSiデバイスのボロン注入プロセスおよび電気伝導特性に関する研究
• Title Transcription: Tight - Binding リョウシ ブンシ ドウリキガクホウ ニ モトズク Si デバイス ノ ボロン チュウニュウ プロセス オヨビ デンキ デンドウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 坪井秀行 [著]
• Author Heading: 坪井, 秀行 ツボイ, ヒデユキ
• Publication, Distribution, etc.: [坪井秀行]
• Publication Date: [2006]
• Publication Date (W3CDTF): 2006
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成18年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2006
• Dissertation Number: 甲第10931号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2006-P608
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008422999; http://id.ndl.go.jp/bib/000008422999
• Bibliographic Record Category (NDL): 213