Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

Call No. (NDL): Y151-H14205099
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008432251

Material type: 図書

Author: 宮崎修一, 筑波大学 [著]

Publisher: [宮崎修一]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書参考資料の請求記号: Y151-H11305043

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Paper

Material Type: 図書
Title: Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製
Title Transcription: Ti-Ni ケイジョウキオクゴウキンスパッタハクマクオモチイタキョウリョクダイヘンイマイクロアクチュエータノサクセイ
Author/Editor: 宮崎修一, 筑波大学 [著]
Author Heading: 宮崎, 修一, 1950- ミヤザキ, シュウイチ, 1950- ( 00839252 )Authorities
筑波大学ツクバダイガク ( 00265365 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [宮崎修一]
Publication Date: 2002-2004
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: Ti-Ni / 形状記憶合金 / マイクロアクチュエータ / スパッタ薄膜 / マルテンサイト変態 / Ni-Ti / 微細加工 Ti-Ni / ケイジョウキオクゴウキン / マイクロアクチュエータ / スパッタハクマク / マルテンサイトヘンタイ / Ni-Ti / ビサイカコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
参考資料の請求記号: Y151-H11305043
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14205099
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14205099
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008432251
http://id.ndl.go.jp/bib/000008432251
Bibliographic Record Category (NDL): 214