Materials design for the gettering of diffusive 3d transition elements in silicon

• Material Type: 博士論文
• Title: Materials design for the gettering of diffusive 3d transition elements in silicon
• Author/Editor: Kazuhito Matsukawa [著]
• Author Heading: 松川, 和人 マツカワ, カズヒト
• Publication, Distribution, etc.: [Kazuhito Matsukawa]
• Publication Date: 2006
• Publication Date (W3CDTF): 2006
• Extent: 1冊
• Alternative Title: シリコン中における3d遷移金属の拡散挙動解明とゲッタリングマテリアル・デザイン シリコンチュウ ニ オケル 3d センイ キンゾク ノ カクサン キョドウ カイメイ ト ゲッタリング マテリアル デザイン
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成18年6月16日
• Date Granted (W3CDTF): 2006
• Dissertation Number: 甲第11392号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2006-S325
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008451749; http://id.ndl.go.jp/bib/000008451749
• Bibliographic Record Category (NDL): 213