博士論文

砥粒レス超音波研磨法によるCVDダイヤモンド膜の平滑化に関する研究

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砥粒レス超音波研磨法によるCVDダイヤモンド膜の平滑化に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2006-T960
Bibliographic ID of National Diet Library
000008464712
Material type
博士論文
Author
横澤毅 [著]
Publisher
[横澤毅]
Publication date
2006
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
横浜国立大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
トリュウ レス チョウオンパ ケンマホウ ニ ヨル CVD ダイヤモンドマク ノ ヘイカツカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
横澤毅 [著]
Author Heading
横澤, 毅 ヨコサワ, ツヨシ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2006
Publication Date (W3CDTF)
2006
Extent
1冊
Alternative Title
Study on smoothing of CVD diamond film by non-abrasive ultrasonic vibration polishing