博士論文

有機金属化学気相堆積法による窒化タンタルおよび酸化ハフニウム薄膜作成の研究

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有機金属化学気相堆積法による窒化タンタルおよび酸化ハフニウム薄膜作成の研究

Call No. (NDL)
UT51-2007-B874
Bibliographic ID of National Diet Library
000008496229
Material type
博士論文
Author
町田英明 [著]
Publisher
[町田英明]
Publication date
[2006]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京理科大学,博士 (理学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ユウキ キンゾク カガク キソウ タイセキホウ ニ ヨル チッカ タンタル オヨビ サンカ ハフニウム ハクマク サクセイ ノ ケンキュウ
Author/Editor
町田英明 [著]
Author Heading
町田, 英明 マチダ, ヒデアキ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2006]
Publication Date (W3CDTF)
2006
Extent
1冊
Degree grantor/type
東京理科大学