博士論文

気相成長シリコン窒化膜に関する研究

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気相成長シリコン窒化膜に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-51-H258
Bibliographic ID of National Diet Library
000008509018
Material type
博士論文
Author
小林敬三 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
北海道大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
気相成長シリコン窒化膜に関する研究
Title Transcription
キソウ セイチョウ シリコン チッカマク ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
小林敬三 [著]
Author Heading
小林, 敬三 コバヤシ, ケイゾウ
Extent
冊
Degree grantor/type
北海道大学
Date Granted
昭和50年9月30日
Date Granted (W3CDTF)
1975
Dissertation Number
乙第1318号