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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 西義雄 [著]
- Author Heading
- 西, 義雄 ニシ, ヨシオ
- Extent
- 冊
- Alternative Title
- シリコン・エピタキシャル・プレーナ技術と関連表面現象 シリコン エピタキシャル プレーナ ギジュツ ト カンレン ヒョウメン ゲンショウ
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 昭和48年5月17日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1973
- Dissertation Number
- 乙第3049号