博士論文

Si及びSi窒化膜の成長

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Si及びSi窒化膜の成長

Call No. (NDL)
UT51-49-J88
Bibliographic ID of National Diet Library
000008525819
Material type
博士論文
Author
小川博司 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
名古屋大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
Si オヨビ Si チッカマク ノ セイチョウ
Author/Editor
小川博司 [著]
Author Heading
小川, 博司 オガワ, ヒロシ
Extent
Degree grantor/type
名古屋大学
Date Granted
昭和48年1月16日
Date Granted (W3CDTF)
1973
Dissertation Number
甲第752号