活性化スパッタリングにより形成したチタン及び亜鉛酸化物素子の製法及特性に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 活性化スパッタリングにより形成したチタン及び亜鉛酸化物素子の製法及特性に関する研究
Title Transcription: カッセイカスパッタリングニヨリケイセイシタチタンオヨビアエンサンカブツソシノセイホウオヨビトクセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 波田敏雄 [著]
Author Heading: 波田, 敏雄ハダ, トシオ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 名古屋大学
Date Granted: 昭和47年6月10日
Date Granted (W3CDTF): 1972
Dissertation Number: 乙第918号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-49-K63
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008526988
http://id.ndl.go.jp/bib/000008526988
Bibliographic Record Category (NDL): 213