博士論文

高周波自動整合器の開発とプラズマプロセッシングへの応用

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高周波自動整合器の開発とプラズマプロセッシングへの応用

Call No. (NDL)
UT51-2007-D533
Bibliographic ID of National Diet Library
000008538150
Material type
博士論文
Author
吉迫裕司 [著]
Publisher
[吉迫裕司]
Publication date
[2007]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
コウシュウハ ジドウ セイゴウキ ノ カイハツ ト プラズマ プロセッシング エ ノ オウヨウ
Author/Editor
吉迫裕司 [著]
Author Heading
吉迫, 裕司 ヨシザコ, ユウジ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2007]
Publication Date (W3CDTF)
2007
Extent
1冊
Degree grantor/type
大阪大学