電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発

電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発

Call No. (NDL): UT51-2007-D546
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008538261

Material type: 博士論文

Author: 浅地豊久 [著]

Publisher: [浅地豊久]

Publication date: [2007]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 大阪大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発
Title Transcription: デンシサイクロトロンキョウメイノコウコウリツカニモトズクセンシンプロセスヨウプラズマゲンカイハツ
Author/Editor: 浅地豊久 [著]
Author Heading: 浅地, 豊久アサジ, トヨヒサ
Publication, Distribution, etc.: [浅地豊久]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成19年3月23日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第11917号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-D546
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008538261
http://id.ndl.go.jp/bib/000008538261
Bibliographic Record Category (NDL): 213