博士論文

電子ビーム誘起堆積法による微小電子源の開発研究

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電子ビーム誘起堆積法による微小電子源の開発研究

Call No. (NDL)
UT51-2007-D612
Bibliographic ID of National Diet Library
000008538302
Material type
博士論文
Author
村上勝久 [著]
Publisher
[村上勝久]
Publication date
[2007]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
電子ビーム誘起堆積法による微小電子源の開発研究
Title Transcription
デンシ ビーム ユウキ タイセキホウ ニ ヨル ビショウ デンシゲン ノ カイハツ ケンキュウ
Author/Editor
村上勝久 [著]
Author Heading
村上, 勝久 ムラカミ, カツヒサ
Publication, Distribution, etc.
[村上勝久]
Publication Date
[2007]
Publication Date (W3CDTF)
2007
Extent
1冊
Degree grantor/type
大阪大学