数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による水晶ウエハの超高精度加工に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による水晶ウエハの超高精度加工に関する研究
• Title Transcription: スウチ セイギョ プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニ ヨル スイショウ ウエハ ノ チョウコウセイド カコウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 柴原正文 [著]
• Author Heading: 柴原, 正文 シバハラ, マサフミ
• Publication, Distribution, etc.: [柴原正文]
• Publication Date: [2007]
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成19年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2007
• Dissertation Number: 乙第9298号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2007-D749
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008538640; http://id.ndl.go.jp/bib/000008538640
• Bibliographic Record Category (NDL): 213