LSI多層配線用層間絶縁膜とそのインテグレーション技術に関する研究開発

LSI多層配線用層間絶縁膜とそのインテグレーション技術に関する研究開発

Call No. (NDL): UT51-2007-E649
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008555462

Material type: 博士論文

Author: 福田琢也 [著]

Publisher: [福田琢也]

Publication date: [2007]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 名古屋大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: LSI多層配線用層間絶縁膜とそのインテグレーション技術に関する研究開発
Title Transcription: LSI タソウハイセンヨウソウカンゼツエンマクトソノインテグレーションギジュツニカンスルケンキュウカイハツ
Author/Editor: 福田琢也 [著]
Author Heading: 福田, 琢也フクダ, タクヤ
Publication, Distribution, etc.: [福田琢也]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 名古屋大学
Date Granted: 平成19年3月23日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第7543号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-E649
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008555462
http://id.ndl.go.jp/bib/000008555462
Bibliographic Record Category (NDL): 213