The effects of atmospheric molecules on ultra micro cutting of monocrystalline silicon

• Material Type: 博士論文
• Title: The effects of atmospheric molecules on ultra micro cutting of monocrystalline silicon
• Author/Editor: Yanjie Liu [著]
• Author Heading: 劉, 雁捷 リュウ, ヤンジェ
• Publication, Distribution, etc.: [Yanjie Liu]
• Publication Date: [2007]
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 単結晶シリコンの超微小加工における雰囲気の効果 タンケッショウ シリコン ノ チョウビショウ カコウ ニ オケル フンイキ ノ コウカ
• Degree grantor/type: 名古屋工業大学
• Date Granted: 平成19年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2007
• Dissertation Number: 甲第590号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Liu, Yanjie
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2007-F731
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008589484; http://id.ndl.go.jp/bib/000008589484
• Bibliographic Record Category (NDL): 213