紫外線および放射X線を用いたレジストの三次元微細加工技術に関する研究

紫外線および放射X線を用いたレジストの三次元微細加工技術に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2007-H324
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008619214

Material type: 博士論文

Author: 平井義和 [著]

Publisher: [平井義和]

Publication date: [2007]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 京都大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 紫外線および放射X線を用いたレジストの三次元微細加工技術に関する研究
Title Transcription: シガイセンオヨビホウシャ Xセンオモチイタレジストノサンジゲンビサイカコウギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 平井義和 [著]
Author Heading: 平井, 義和ヒライ, ヨシカズ
Publication, Distribution, etc.: [平井義和]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 京都大学
Date Granted: 平成19年3月23日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第13051号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-H324
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008619214
http://id.ndl.go.jp/bib/000008619214
Bibliographic Record Category (NDL): 213