シリコン薄膜結晶粒の発生位置及び結晶方位の制御に関する研究

シリコン薄膜結晶粒の発生位置及び結晶方位の制御に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2007-K829
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008973460

Material type: 博士論文

Author: 中川豪 [著]

Publisher: [中川豪]

Publication date: [2007]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 九州大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: シリコン薄膜結晶粒の発生位置及び結晶方位の制御に関する研究
Title Transcription: シリコンハクマクケッショウリュウノハッセイイチオヨビケッショウホウイノセイギョニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 中川豪 [著]
Author Heading: 中川, 豪ナカガワ, ゴウ
Publication, Distribution, etc.: [中川豪]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 平成19年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第8377号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-K829
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008973460
http://id.ndl.go.jp/bib/000008973460
Bibliographic Record Category (NDL): 213