電子ビーム励起化学反応の超小型電子回路素子製造技術への応用に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 電子ビーム励起化学反応の超小型電子回路素子製造技術への応用に関する研究
Title Transcription: デンシビームレイキカガクハンノウノチョウコガタデンシカイロソシセイゾウギジュツエノオウヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 谷井靖夫 [著]
Author Heading: 谷井, 靖夫ヤツイ, ヤスオ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 昭和46年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 1971
Dissertation Number: 乙第978号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-46-C861
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008985413
http://id.ndl.go.jp/bib/000008985413
Bibliographic Record Category (NDL): 213