博士論文

二硫化モリブデンスパッタ膜のトライボロジー特性に及ぼす雰囲気の影響に関する研究

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二硫化モリブデンスパッタ膜のトライボロジー特性に及ぼす雰囲気の影響に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2007-L422
Bibliographic ID of National Diet Library
000009042561
Material type
博士論文
Author
鈴木峰男 [著]
Publisher
[鈴木峰男]
Publication date
[2007]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
法政大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
二硫化モリブデンスパッタ膜のトライボロジー特性に及ぼす雰囲気の影響に関する研究
Title Transcription
ニリュウカ モリブデン スパッタマク ノ トライボロジー トクセイ ニ オヨボス フンイキ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
鈴木峰男 [著]
Author Heading
鈴木, 峰男 スズキ, ミネオ
Publication, Distribution, etc.
[鈴木峰男]
Publication Date
[2007]
Publication Date (W3CDTF)
2007
Extent
1冊
Degree grantor/type
法政大学