博士論文

シリコンのレーザ再結晶化とSOIデバイスに関する研究

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シリコンのレーザ再結晶化とSOIデバイスに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2007-M77
Bibliographic ID of National Diet Library
000009086676
Material type
博士論文
Author
河村誠一郎 [著]
Publisher
[河村誠一郎]
Publication date
[2006]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
シリコンのレーザ再結晶化とSOIデバイスに関する研究
Title Transcription
シリコン ノ レーザ サイケッショウカ ト SOI デバイス ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
河村誠一郎 [著]
Author Heading
河村, 誠一郎 カワムラ, セイイチロウ
Publication, Distribution, etc.
[河村誠一郎]
Publication Date
[2006]
Publication Date (W3CDTF)
2006
Extent
1冊
Degree grantor/type
東北大学