ミクロンサイズ試験片によるMEMS用微小材料の機械的性質に関する研究

ミクロンサイズ試験片によるMEMS用微小材料の機械的性質に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2007-P284
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009110595

Material type: 博士論文

Author: 小山聡 [著]

Publisher: [小山聡]

Publication date: [2007]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京工業大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: ミクロンサイズ試験片によるMEMS用微小材料の機械的性質に関する研究
Title Transcription: ミクロンサイズシケンヘンニヨル MEMSヨウビショウザイリョウノキカイテキセイシツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 小山聡 [著]
Author Heading: 小山, 聡コヤマ, サトル
Publication, Distribution, etc.: [小山聡]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成19年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第6874号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-P284
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009110595
http://id.ndl.go.jp/bib/000009110595
Bibliographic Record Category (NDL): 213