ArFエキシマレーザ露光用化学増幅型レジスト材料の開発とその実用化に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: ArFエキシマレーザ露光用化学増幅型レジスト材料の開発とその実用化に関する研究
Title Transcription: ArF エキシマレーザロコウヨウカガクゾウフクガタレジストザイリョウノカイハツトソノジツヨウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 中野嘉一郎 [著]
Author Heading: 中野, 嘉一郎ナカノ, カイチロウ
Publication, Distribution, etc.: [中野嘉一郎]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成19年6月27日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 乙第9337号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-Q968
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009144303
http://id.ndl.go.jp/bib/000009144303
Bibliographic Record Category (NDL): 213