博士論文

プラズマを用いたポリシリコンゲート電極の微細加工の研究

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プラズマを用いたポリシリコンゲート電極の微細加工の研究

Call No. (NDL)
UT51-2007-R91
Bibliographic ID of National Diet Library
000009160321
Material type
博士論文
Author
後藤剛 [著]
Publisher
[後藤剛]
Publication date
[2007]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
慶應義塾大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
プラズマを用いたポリシリコンゲート電極の微細加工の研究
Title Transcription
プラズマ オ モチイタ ポリシリコン ゲート デンキョク ノ ビサイ カコウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
後藤剛 [著]
Author Heading
後藤, 剛 ゴトウ, タケシ
Publication, Distribution, etc.
[後藤剛]
Publication Date
[2007]
Publication Date (W3CDTF)
2007
Extent
1冊
Degree grantor/type
慶應義塾大学