博士論文

光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究

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光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究

Call No. (NDL)
UT51-2007-R502
Bibliographic ID of National Diet Library
000009172056
Material type
博士論文
Author
斎藤広幸 [著]
Publisher
[斎藤広幸]
Publication date
[2006]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
新潟大学,博士 (学術)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究
Title Transcription
コウガクテキ セイシツ オ リヨウシタ シリコン タンケッショウ ノ ケッショウ ケッカン ノ ケンシュツ ホウホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
斎藤広幸 [著]
Author Heading
斎藤, 広幸 サイトウ, ヒロユキ
Publication, Distribution, etc.
[斎藤広幸]
Publication Date
[2006]
Publication Date (W3CDTF)
2006
Extent
1冊
Degree grantor/type
新潟大学