光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究

光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究

Call No. (NDL): UT51-2007-R502
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009172056

Material type: 博士論文

Author: 斎藤広幸 [著]

Publisher: [斎藤広幸]

Publication date: [2006]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 新潟大学,博士 (学術)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 光学的性質を利用したシリコン単結晶の結晶欠陥の検出方法の研究
Title Transcription: コウガクテキセイシツオリヨウシタシリコンタンケッショウノケッショウケッカンノケンシュツホウホウノケンキュウ
Author/Editor: 斎藤広幸 [著]
Author Heading: 斎藤, 広幸サイトウ, ヒロユキ
Publication, Distribution, etc.: [斎藤広幸]
Publication Date: [2006]
Publication Date (W3CDTF): 2006
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 新潟大学
Date Granted: 平成18年9月21日
Date Granted (W3CDTF): 2006
Dissertation Number: 乙第2059号
Degree Type: 博士 (学術)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-R502
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009172056
http://id.ndl.go.jp/bib/000009172056
Bibliographic Record Category (NDL): 213