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ナノスコピックプラズマプロセス支援新規ハイブリッド電子デバイス開発の基礎研究

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ナノスコピックプラズマプロセス支援新規ハイブリッド電子デバイス開発の基礎研究

Call No. (NDL)
Y151-H16340176
Bibliographic ID of National Diet Library
000009271713
Material type
図書
Author
平田孝道, 武蔵工業大学 [著]
Publisher
[平田孝道]
Publication date
2004-2005
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ナノスコピック プラズマ プロセス シエン シンキ ハイブリッド デンシ デバイス カイハツ ノ キソ ケンキュウ
Author/Editor
平田孝道, 武蔵工業大学 [著]
Author Heading
平田, 孝道 ヒラタ, タカミチ
武蔵工業大学 ムサシ コウギョウ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2004-2005
2007.3
Publication Date (W3CDTF)
2004
2005
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)