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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ネオシリコン リョウシ ジョウホウ デバイス ソウセイ ニ ムケタ リョウシ ドット ジコ ハイレツ セイギョ ギジュツ
- Author/Editor
- 小田俊理, 東京工業大学 [著]
- Author Heading
- 著者 : 小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )Authorities東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク ( 00259309 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2004-20062007.6
- Publication Date (W3CDTF)
- 20042006
- Extent
- 1冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(A)