MEMS用レジスト微小構造部材のための機械的性質評価法の開発

Call No. (NDL): Y151-H17560611
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009280327

Material type: 図書

Author: 石山千恵美, 東京工業大学 [著]

Publisher: [石山千恵美]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: MEMS用レジスト微小構造部材のための機械的性質評価法の開発
Title Transcription: MEMSヨウレジストビショウコウゾウブザイノタメノキカイテキセイシツヒョウカホウノカイハツ
Author/Editor: 石山千恵美, 東京工業大学 [著]
Author Heading: 石山, 千恵美イシヤマ, チエミ
東京工業大学トウキョウコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [石山千恵美]
Publication Date: 2005-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: フォトリソグラフィー / 厚膜レジスト / ミクロンサイズ材料試験機 / エポキシ樹脂 / 曲げ強度 / 熱硬化性樹脂 / SU-8 / 機械的性質フォトリソグラフィー / アツマクレジスト / ミクロンサイズザイリョウシケンキ / エポキシジュシ / マゲキョウド / ネツコウカセイジュシ / SU-8 / キカイテキセイシツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560611
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560611
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009280327
http://id.ndl.go.jp/bib/000009280327
Bibliographic Record Category (NDL): 214