Low-kドライ・エッチング技術 (フォーカスレポート = Focus report ; 26)

Low-kドライ・エッチング技術

(フォーカスレポート = Focus report ; 26)

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Material Type: 図書
ISBN: 978-4-901790-61-1
Title: Low-kドライ・エッチング技術
Title Transcription: Low-k ドライエッチングギジュツ
Author/Editor: 辰巳哲也著
Series Title: フォーカスレポート = Focus report ; 26
Author Heading: 辰巳, 哲也タツミ, テツヤ ( 01119674 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : EDリサーチ社
Publication Date: 2007.10
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 34枚
Size: 26cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
誘電材料ユウデンザイリョウ ( 00574420 )Authorities
NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Price: 3000円
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-J12
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009282857
http://id.ndl.go.jp/bib/000009282857
National Bibliography No. (JPNO): 21389073
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111