塩素・臭素系混合プラズマの気相および固体表面におけるプラズマ化学の解明と制御

Call No. (NDL): Y151-H17340172
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009296202

Material type: 図書

Author: 斧高一, 京都大学 [著]

Publisher: [斧高一]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 87p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 塩素・臭素系混合プラズマの気相および固体表面におけるプラズマ化学の解明と制御
Title Transcription: エンソシュウソケイコンゴウプラズマノキソウオヨビコタイヒョウメンニオケルプラズマカガクノカイメイトセイギョ
Author/Editor: 斧高一, 京都大学 [著]
Author Heading: 斧, 高一オノ, コウイチ
京都大学キョウトダイガク
Publication, Distribution, etc.: [斧高一]
Publication Date: 2005-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 87p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: プラズマ加工 / プラズマ化学 / 表面・界面物性 / 半導体超微細化 / 超微細加工形状 / 反応粒子輸送 / プラズマプロセス / エッチングプラズマカコウ / プラズマカガク / ヒョウメン・カイメンブッセイ / ハンドウタイチョウビサイカ / チョウビサイカコウケイジョウ / ハンノウリュウシユソウ / プラズマプロセス / エッチング
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17340172
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17340172
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009296202
http://id.ndl.go.jp/bib/000009296202
Bibliographic Record Category (NDL): 214