短波長発光ダイオードアレイの独立制御によるマスクレス光リソグラフィー

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Material Type: 図書
Title: 短波長発光ダイオードアレイの独立制御によるマスクレス光リソグラフィー
Title Transcription: タンハチョウハッコウダイオードアレイノドクリツセイギョニヨルマスクレスヒカリリソグラフィー
Author/Editor: 中村有水, 熊本大学 [著]
Author Heading: 中村, 有水ナカムラ, ユウスイ
熊本大学クマモトダイガク
Publication, Distribution, etc.: [中村有水]
Publication Date: 2005-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 結晶成長 / 光源技術 / 電子デバイス・機器 / 半導体物性ケッショウセイチョウ / コウゲンギジュツ / デンシデバイス・キキ / ハンドウタイブッセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560312
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560312
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009297376
http://id.ndl.go.jp/bib/000009297376
Bibliographic Record Category (NDL): 214