ナノ加工・計測のための気圧管理可能な環境一定制御チャンバーの実用化

Call No. (NDL): Y151-H17560112
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009305535

Material type: 図書

Author: 山口勝己, 大阪府立産業技術総合研究所 [著]

Publisher: [山口勝己]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 75枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: ナノ加工・計測のための気圧管理可能な環境一定制御チャンバーの実用化
Title Transcription: ナノカコウケイソクノタメノキアツカンリカノウナカンキョウイッテイセイギョチャンバーノジツヨウカ
Author/Editor: 山口勝己, 大阪府立産業技術総合研究所 [著]
Author Heading: 山口, 勝己ヤマグチ, カツミ
大阪府立産業技術総合研究所オオサカフリツサンギョウギジュツソウゴウケンキュウジョ
Publication, Distribution, etc.: [山口勝己]
Publication Date: 2005-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 75枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 環境補償 / 環境一定制御チャンバー / レーザ干渉測長器 / 超精密加工 / 気圧 / 温度 / 湿度 / 位置決め精度カンキョウホショウ / カンキョウイッテイセイギョチャンバー / レーザカンショウソクチョウキ / チョウセイミツカコウ / キアツ / オンド / シツド / イチギメセイド
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560112
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560112
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009305535
http://id.ndl.go.jp/bib/000009305535
Bibliographic Record Category (NDL): 214