変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H15206016
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009309808

Material type: 図書

Author: 高谷裕浩, 大阪大学 [著]

Publisher: [高谷裕浩]

Publication date: 2003-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 4, 102p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究
Title Transcription: ヘンチョウコウホウシャアツトラッピングプローブニヨルビサイカコウケイジョウノナノフクゴウケイソクニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 高谷裕浩, 大阪大学 [著]
Author Heading: 著者：高谷, 裕浩タカヤ, ヤスヒロ ( 01126347 )Authorities
大阪大学オオサカダイガク ( 00296951 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [高谷裕浩]
Publication Date: 2003-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2006
Extent: 4, 102p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: マイクロ部品 / 光放射圧 / マイクロプローブ / レーザトラッピング / 3次元形状 / 表面微細形状 / ナノ計測 / 複合計測マイクロブヒン / ヒカリホウシャアツ / マイクロプローブ / レーザトラッピング / 3 ジゲンケイジョウ / ヒョウメンビサイケイジョウ / ナノケイソク / フクゴウケイソク
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15206016
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15206016
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009309808
http://id.ndl.go.jp/bib/000009309808
Bibliographic Record Category (NDL): 214