ガラス基板表面の核形成点制御による大粒径多結晶薄膜形成法の開発

Call No. (NDL): Y151-H16360070
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009310295

Material type: 図書

Author: 安武潔, 大阪大学 [著]

Publisher: [安武潔]

Publication date: 2004-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 114枚

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: ガラス基板表面の核形成点制御による大粒径多結晶薄膜形成法の開発
Title Transcription: ガラスキバンヒョウメンノカクケイセイテンセイギョニヨルダイリュウケイタケッショウハクマクケイセイホウノカイハツ
Author/Editor: 安武潔, 大阪大学 [著]
Author Heading: 安武, 潔ヤスタケ, キヨシ
大阪大学オオサカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [安武潔]
Publication Date: 2004-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 114枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 多結晶Si薄膜 / 大粒径 / ガラス基板 / Ge微結晶 / 結晶核 / 核形成 / 自己組織化 / 固相結晶化タケッショウ Si ハクマク / ダイリュウケイ / ガラスキバン / Ge ビケッショウ / ケッショウカク / カクケイセイ / ジコソシキカ / コソウケッショウカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360070
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360070
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009310295
http://id.ndl.go.jp/bib/000009310295
Bibliographic Record Category (NDL): 214