プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明

Call No. (NDL): Y151-H17340174
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009310938

Material type: 図書

Author: 浜口智志, 大阪大学 [著]

Publisher: [浜口智志]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明
Title Transcription: プラズマスパッタリングニオケルヒカリユウキヒョウメンハンノウプロセスノカイメイ
Author/Editor: 浜口智志, 大阪大学 [著]
Author Heading: 著者：浜口, 智志ハマグチ, サトシ ( 01238025 )Authorities
大阪大学オオサカダイガク ( 00296951 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [浜口智志]
Publication Date: 2005-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: プラズマ / エッチング / 反応性スパッタリング / 紫外線照射 / 分子動力学シミュレーション / モンテカルロシミュレーション / イオンビームプラズマ / エッチング / ハンノウセイスパッタリング / シガイセンショウシャ / ブンシドウリョクガクシミュレーション / モンテカルロシミュレーション / イオンビーム
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17340174
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17340174
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009310938
http://id.ndl.go.jp/bib/000009310938
Bibliographic Record Category (NDL): 214