2次イオン質量分析法による半導体デバイス開発のための表面微量不純物分析法に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 2次イオン質量分析法による半導体デバイス開発のための表面微量不純物分析法に関する研究
Title Transcription: 2ジイオンシツリョウブンセキホウニヨルハンドウタイデバイスカイハツノタメノヒョウメンビリョウフジュンブツブンセキホウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 小林淳二 [著]
Author Heading: 小林, 淳二コバヤシ, ジュンジ
Publication, Distribution, etc.: [小林淳二]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 平成19年3月22日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第22334号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-U504
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009311382
http://id.ndl.go.jp/bib/000009311382
Bibliographic Record Category (NDL): 213