零温度特性を有する超精密薄膜抵抗材料の超高抵抗率化に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 零温度特性を有する超精密薄膜抵抗材料の超高抵抗率化に関する研究
Title Transcription: ゼロオンドトクセイオユウスルチョウセイミツハクマクテイコウザイリョウノチョウコウテイコウリツカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 佐藤祐一, 秋田大学 [著]
Author Heading: 佐藤, 祐一サトウ, ユウイチ
秋田大学アキタダイガク
Publication, Distribution, etc.: [佐藤祐一]
Publication Date: 2004-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 24枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 薄膜 / スパッタリング / 抵抗ハクマク / スパッタリング / テイコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16560267
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16560267
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009315785
http://id.ndl.go.jp/bib/000009315785
Bibliographic Record Category (NDL): 214