高分解能マイクロX線回折測定による半導体材料・デバイスのナノスケール歪分布計測

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Material Type: 図書
Title: 高分解能マイクロX線回折測定による半導体材料・デバイスのナノスケール歪分布計測
Title Transcription: コウブンカイノウマイクロ Xセンカイセツソクテイニヨルハンドウタイザイリョウデバイスノナノスケールヒズミブンプケイソク
Author/Editor: 木村滋, 高輝度光科学研究センター [著]
Author Heading: 木村, 滋キムラ, シゲル
高輝度光科学研究センターコウキドヒカリカガクケンキュウセンター
Publication, Distribution, etc.: [木村滋]
Publication Date: 2005-2006
2007.6
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 59p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: X線回折 / シンクロトロン放射光 / 歪み / 微小領域 Xセンカイセツ / シンクロトロンホウシャコウ / ヒズミ / ビショウリョウイキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17360015
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17360015
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009320042
http://id.ndl.go.jp/bib/000009320042
Bibliographic Record Category (NDL): 214