プラズマの異常加熱された電子を利用したSiOx薄膜作成とバリアフィルムへの応用

Call No. (NDL): Y151-H17350106
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009322950

Material type: 図書

Author: 稲垣訓宏, 静岡大学 [著]

Publisher: [稲垣訓宏]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 87p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: プラズマの異常加熱された電子を利用したSiOx薄膜作成とバリアフィルムへの応用
Title Transcription: プラズマノイジョウカネツサレタデンシオリヨウシタ SiOx ハクマクサクセイトバリアフィルムエノオウヨウ
Author/Editor: 稲垣訓宏, 静岡大学 [著]
Author Heading: 稲垣, 訓宏イナガキ, ノリヒロ
静岡大学シズオカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [稲垣訓宏]
Publication Date: 2005-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 87p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
プラズマの異常加熱された電子を利用したSiOx薄膜作成とバリアーフィルムへの応用
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 酸素ガスバリアー / 水蒸気ガスバリアー / ポリエチレンナフタレート / パルスプラズマ / SiOx / プラズマポリマーサンソガスバリアー / スイジョウキガスバリアー / ポリエチレンナフタレート / パルスプラズマ / SiOx / プラズマポリマー
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17350106
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17350106
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009322950
http://id.ndl.go.jp/bib/000009322950
Bibliographic Record Category (NDL): 214