半導体ウエハのin-situ温度計測システムの研究

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Material Type: 図書
Title: 半導体ウエハのin-situ温度計測システムの研究
Title Transcription: ハンドウタイウエハノ in - situ オンドケイソクシステムノケンキュウ
Author/Editor: 井内徹, 東洋大学 [著]
Author Heading: 井内, 徹イウチ, トオル
東洋大学トウヨウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [井内徹]
Publication Date: 2005-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 134p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 放射測温 / 半導体 / 温度計測 / 放射率 / 偏光 / 酸化膜 / 薄膜 / 熱接触抵抗ホウシャソクオン / ハンドウタイ / オンドケイソク / ホウシャリツ / ヘンコウ / サンカマク / ハクマク / ネツセッショクテイコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560377
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560377
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009323551
http://id.ndl.go.jp/bib/000009323551
Bibliographic Record Category (NDL): 214