金属/SiGe混晶半導体ナノコンタクト界面形成の基礎的検討

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Material Type: 図書
Title: 金属/SiGe混晶半導体ナノコンタクト界面形成の基礎的検討
Title Transcription: キンゾク / SiGe コンショウハンドウタイナノコンタクトカイメンケイセイノキソテキケントウ
Author/Editor: 野矢厚, 北見工業大学 [著]
Author Heading: 野矢, 厚ノヤ, アツシ
北見工業大学キタミコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [野矢厚]
Publication Date: 2005-2006
2007.6
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ナノコンタクト / 均一シリサイド / NiSi / SiGe ナノコンタクト / キンイツシリサイド / NiSi / SiGe
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560276
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560276
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009324066
http://id.ndl.go.jp/bib/000009324066
Bibliographic Record Category (NDL): 214