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高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた35nmサイズの微細レジストパターン開発

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高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた35nmサイズの微細レジストパターン開発

Call No. (NDL)
Y151-H16360171
Bibliographic ID of National Diet Library
000009329355
Material type
図書
Author
河合晃, 長岡技術科学大学 [著]
Publisher
[河合晃]
Publication date
2004-2006
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
72p
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた35nmサイズの微細レジストパターン開発
Title Transcription
コウブンシ シュウゴウタイカン ノ ソウゴ サヨウリョク セイギョ ニ モトズイタ 35nm サイズ ノ ビサイ レジスト パターン カイハツ
Author/Editor
河合晃, 長岡技術科学大学 [著]
Author Heading
河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )Authorities
長岡技術科学大学 ナガオカ ギジュツ カガク ダイガク ( 00301466 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
[河合晃]
Publication Date
2004-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF)
2004
2006
Extent
72p
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)