ナノ金型のための超高精度で極低価格なマイクロリソグラフ技術の開発

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Material Type: 図書
Title: ナノ金型のための超高精度で極低価格なマイクロリソグラフ技術の開発
Title Transcription: ナノカナガタノタメノチョウコウセイドデゴクテイカカクナマイクロリソグラフギジュツノカイハツ
Author/Editor: 田辺郁男, 長岡技術科学大学 [著]
Author Heading: 田辺, 郁男タナベ, イクオ
長岡技術科学大学ナガオカギジュツカガクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [田辺郁男]
Publication Date: 2005-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 64p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ナノ金型 / リソグラフ / マイクロリソグラフ / レーザ加工 / レーザ発色 / ホログラフナノカナガタ / リソグラフ / マイクロリソグラフ / レーザカコウ / レーザハッショク / ホログラフ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17360061
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17360061
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009329390
http://id.ndl.go.jp/bib/000009329390
Bibliographic Record Category (NDL): 214