光音響法による不透明多層膜厚計測技術に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 光音響法による不透明多層膜厚計測技術に関する研究
Title Transcription: ヒカリオンキョウホウニヨルフトウメイタソウマクアツケイソクギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 石丸伊知郎, 香川大学 [著]
Author Heading: 石丸, 伊知郎イシマル, イチロウ
香川大学カガワダイガク
Publication, Distribution, etc.: [石丸伊知郎]
Publication Date: 2004-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 78枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 膜厚 / 不透明 / 多層膜 / 非接触 / 光音響効果 / 共振 / 粗面 / トワイマングリーン干渉計マクアツ / フトウメイ / タソウマク / ヒセッショク / ヒカリオンキョウコウカ / キョウシン / ソメン / トワイマングリーンカンショウケイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360206
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360206
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009329445
http://id.ndl.go.jp/bib/000009329445
Bibliographic Record Category (NDL): 214