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炭化ケイ素半導体単結晶と酸化膜界面の原子構造解析に関する研究

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炭化ケイ素半導体単結晶と酸化膜界面の原子構造解析に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H17560298
Bibliographic ID of National Diet Library
000009337953
Material type
図書
Author
宮下敦巳, 日本原子力研究開発機構 [著]
Publisher
[宮下敦巳]
Publication date
2005-2006
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
炭化ケイ素半導体単結晶と酸化膜界面の原子構造解析に関する研究
Title Transcription
タンカ ケイソ ハンドウタイ タンケッショウ ト サンカマク カイメン ノ ゲンシ コウゾウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
宮下敦巳, 日本原子力研究開発機構 [著]
Author Heading
宮下, 敦巳 ミヤシタ, アツミ
日本原子力研究開発機構 ニホン ゲンシリョク ケンキュウ カイハツ キコウ
Publication, Distribution, etc.
[宮下敦巳]
Publication Date
2005-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF)
2005
2006
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)