ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

Call No. (NDL): Y151-H16360146
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009346047

Material type: 図書

Author: 秩父重英, 筑波大学 [著]

Publisher: [秩父重英]

Publication date: 2004-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開
Title Transcription: ヘリコンハレイキプラズマスパッタホウニヨルサンカブツハンドウタイユウデンタイエレクトロニクスノテンカイ
Author/Editor: 秩父重英, 筑波大学 [著]
Author Heading: 秩父, 重英チチブ, シゲフサ
筑波大学ツクバダイガク
Publication, Distribution, etc.: [秩父重英]
Publication Date: 2004-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: ヘリコン波励起プラズマ / 酸化亜鉛 / 誘電体酸化物 / 透明導電膜 / 分布ブラッグ反射鏡 / エピタキシャル成長 / 多層構造 / MgZnO ヘリコンハレイキプラズマ / サンカアエン / ユウデンタイサンカブツ / トウメイドウデンマク / ブンプブラッグハンシャキョウ / エピタキシャルセイチョウ / タソウコウゾウ / MgZnO
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360146
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360146
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009346047
http://id.ndl.go.jp/bib/000009346047
Bibliographic Record Category (NDL): 214