走査型プローブ顕微鏡を用いた半導体表面およびデバイス信頼性の評価に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 走査型プローブ顕微鏡を用いた半導体表面およびデバイス信頼性の評価に関する研究
Title Transcription: ソウサガタプローブケンビキョウオモチイタハンドウタイヒョウメンオヨビデバイスシンライセイノヒョウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 安江孝夫 [著]
Author Heading: 安江, 孝夫ヤスエ, タカオ
Publication, Distribution, etc.: [安江孝夫]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 長岡技術科学大学
Date Granted: 平成19年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第409号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2008-B349
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009362406
http://id.ndl.go.jp/bib/000009362406
Bibliographic Record Category (NDL): 213